- 掃描式電子束刻蝕
- scanning: n. 1.細(xì)看，細(xì)察，審視。 2.【電視】掃描，掃掠,搜 ...
- electron: n. 【物理學(xué)】電子。 the electron bea ...
- beam: n. 1.梁，棟梁，桁條；(船的)橫梁。 2.船幅；(動(dòng) ...
- lithography: n. 石印〔平版印刷〕術(shù)；平版印刷品。
- ebl(electron beam lithography: 電子束平版印刷
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